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6英寸高输出照射设备 QEF160

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链接：http://www.quark-tec.com/chinese/product/1.html#02



商品参数

用途

UV臭氧洗

净干式蚀刻/软件灰化

UV退火

表面改性

去除光刻胶残渣

玻璃粘合

CVD光等的成膜

规格

电源

设定功率500W／1unit
电源电压AC200V  3相
外形尺寸505(W)×545(D)×120(H)mm
重量18kg
冷却自来水

灯箱

灯光172nm波长平板型
照明强度30mW/cm2 照明分布±5%
照明窗167×167mm
外形尺寸400(W)×300(D)×184.3(H)mm
重量12kg
冷却氮气
功能

照明度显示屏功能

输出控制功能

可以安装在真空设备中

新产品输出波长126nm真空紫外线的照明设备

电话：13337806932（郑林）

          13305169532（郑荣）

邮箱： Zhenglin@loveiplant.com

地址：南京市栖霞区恒泰路6号（鑫贵方机电）

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